UV-LIGA相关论文
研制了一种可应用于6G通信系统的W波段腔体带通滤波器。与传统的直接耦合带通滤波器相比，该滤波器通过引入两个基于TE301模式的单线......
随着我国人口老龄化进程的加快,人民平均寿命的延长,空巢家庭的增多,老年人的身心健康受到社会各界和政府的关注。由于身体机能的......
太赫兹波是指频率在0.110THz(波长为3mm30μm)范围内的电磁波(简称太赫兹),它具有很多独特的性质:太赫兹波的波长短,空间分辨率很......
学位
本文提出了一种新的共轭齿廓设计的方法,通过使用偏差函数在原始节曲线的基础上重新形成新的曲线。这种方法可适合任何形状的节曲......
微夹钳是MEMS应用领域的一个重要执行器件，用于完成微小目标的夹持、移动和组装等动作，在微装配、微操作等方面具有重要的作用。本文......
针对接近式紫外光刻图形转移中的曝光形状失真问题,基于补偿思想,应用遗传算法,在引起衍射的掩模特征处,通过调整其形状,实现了光......
以氧化铟锡(ITO)玻璃作为基底,采用UV-LIGA技术制作了双层微齿轮型腔模具的镶块。首先,采用正胶(RZJ-304)进行光刻,在ITO玻璃表面......
真空电子器件的频率正向太赫兹频段发展,折叠波导慢波结构是行波管的核心部件,由于真空器件的尺寸与波长具有共渡性,频率越高,互作......
研究了一种准LIGA加工工艺。该工艺利用无氰电铸制作金结构层，采用PECVD制作的无定形硅作为牺牲层，利用二氟化氙（XeF2）干法腐蚀对材料......
利用UV-LIGA工艺制造了一款总体尺寸为60×60mm×300μm.深宽比为6、开孔率高达93%的金属铢网板模具。该网板具有面积大、......
UV—LIGA技术在制备多层复杂微结构时存在如何确保多层套刻对准精度，尺寸控制精度及层间良好结合的问题。该文对这些问题进行了分析......
针对微拉伸测试系统支撑梁因塑性变形带来的误差，采用UV—LIGA技术制备出S型支撑弹簧来代替刚性梁，这样即可测量大变形薄膜的力学性......
为了实现微孔喷丝头的多元化截面形状，采用紫外（UV）-LIGA技术和激光焊接的方法，初步探索了UV-LIGA技术在制备异形微喷嘴上的应用。应用......
为提高微机电系统（MEMS）万向惯性开关的性能,实现工程化应用,对其进行工艺误差与性能关系研究.基于多层UV-LIGA工艺制作多个开关样机......
SU-8负性光刻胶可通过UV-LIGA技术得到高深宽比微结构，是微机械系统（MEMS）制造中极具前景的一种技术。目前已有对于SU-8微结构的线宽......
SU-8胶的热溶胀效应及其机理进行了研究，在现有微模具的UV-LIGA工艺的基础上，利用AN-SYS对SU-8胶的热溶胀性规律进行了仿真分析。通......
In this paper,we report the study of the process of fabricating a multi-layermetal micro-structure using UV-LIGA overlay......
利用SU-8光刻胶UV-LIGA技术制备了双层微齿轮,齿轮单层的厚度可达450 μm.制备中分别采用了三种工艺路线:两次电铸、溅射种子层一......
准LIGA加工工艺通常、能加工单层准三维体.本研究采用SU-8胶准LIGA技术,解决了多层套刻、种子层和表面活化等技术难题,加工出了三......
针对微型模具的结构和精度要求,在研究硅模具和背板生长两种工艺路线的基础上,提出了无背板生长工艺路线,并介绍了工艺路线中所涉......
随着太赫兹（THZ）技术的发展，真空电子器件越来越小型化，作为核心部件的折叠波导由于具有独特的优点，在高频结构中必将得到广泛的应用。......
光栅在通信、光存储及光谱分析领域具有广泛的应用。对超声辅助UV-LIGA技术制备光栅的可行性进行了试验研究。试验中两次利用超声......
基于微纳米加工技术，设计一种可降解的植入式药物控释微载体，介绍利用紫外光刻（UV—LIGA）技术制备该类微载体的工艺。用聚羟基丙酸乙酸......
为研究采用UV-LIGA（Ultraviolet Lithography,Galvanoformung,Abformung）技术制作的多层电铸镍的机械可靠性,对其进行了抗冲击性能分......
为了对微米尺度薄膜材料的力学性能进行测试,开发了一套成本较低的单轴微拉伸MEMS材料力学性能测试系统。首先,根据有限元模拟优化......
在分析微细电铸的电场与流场特性的基础上,深入研究了铸层厚度的不均匀现象及搅拌方式和电流密度对微细电铸质量的影响。由于高深......
晶圆测试作为半导体制造工业中很重要的一个环节,其不仅可以检查晶圆厂的制造缺陷和良品率,还能避免后续封装浪费。晶圆测试中所用......
双频段波导带通滤波器作为双频甚至多频无线通信系统中一个负责过滤信号的关键无源器件,如何提高其频率选择特性,实现其体积微型化......
SU-8系列负性光刻胶是一种新品光刻胶,它具有良好的光敏性和高深宽比,适合于微机电系统,UV-LIGA和其它厚膜、超厚膜应用[1,2].介绍......
高开孔率、大厚度金属精细网板的制造是网板业界的技术难题。分析了现有的精细金属网板制造工艺的优缺点,并提出采用基于SU-8光刻......
随着微机电系统技术的不断发展,MEMS器件在一些工业领域逐渐得到应用。MEMS惯性开关作为一种惯性冲击检测传感器在航空、航天、运......
MEMS(微机电系统)技术在引信领域的应用,改变了引信设计者的传统设计思想,加速了引信向微型化、智能化、集成化方向的发展。MEMS引......
现代雷达、无线通信和电子对抗等领域的飞速发展和电子设备的不断升级对天线提出了越来越高的要求。传输阵列天线由于具有结构剖面......
微夹钳是MEMS应用领域的一个重要执行器件，在微装配、微操作等方面扮演着重要的角色。研究和开发适用于微型零件操作和装配的微夹钳......
随着MEMS技术的迅速发展,金属微器件的需求量逐渐增加。基于SU-8光刻胶的UV-LIGA技术是制作金属微器件的有效方法之一。在以SU-8光......
将模糊神经网络理论和算法应用于负性光刻胶（SU-8）加工高分辨率和高深宽比微结构的工艺研究，在正交试验的基础上对网络进行训练，建立了......
为了制作三维金属微结构，研究了UV-LIGA和微细电火花加工技术组合的工艺方法。使用UV—LIGA技术制作了准三维金属微结构，然后，对该微......
微型加速度开关是用于空间飞行体中感受加速度并完成致动的重要惯性器件。本文采用UV-LIGA技术,结合SU-8厚胶工艺、微电铸工艺以及......
首次将超声处理引入UV-LIGA工艺中,研究了超声处理对SU-8胶模溶胀的影响,并探讨了其影响机理,从而获得了减小胶模溶胀及提高电铸微......
为了解决雷达等高热流密度电子设备的散热问题,通过数值模拟方法,设计了一款高宽比为5,当量直径为166.67μm的金属微通道热沉。基......
介绍了基于UV-LIGA技术的导光板微结构注射成型工艺过程,对注射模型芯制作关键工艺进行了分析与研究,在优选关键制备环节工艺参数......
近年来,铜微小结构器件因具有优良的导电性和导热性而被广泛应用于航空航天、仪表仪器、电子工业、军工产品等领域微小型工业产品......
MEMS(微机电系统)技术的发展带来了引信技术发展的新机遇,改变了引信设计者传统的引信设计思想,引信的智能化、集成化程度进一步提......
MEMS惯性开关具有体积小、成本低、可靠性高以及便于集成化等优点,在航空航天、电子通信、汽车工业以及安全运输等领域有着广阔的......
提出了一种基于微机电系统(MEMS)开关的射频衰减器的设计方案。首先在DC~20 GHz内,以10 dB衰减量为目标,对整体电路结构进行设计,......
晶圆级IC测试在经济生产中是非常必要的,通过早期放弃有缺陷的元件部分,可以避免不必要的封装成本,同时,晶圆测试数据还提供了早期......
环氧树脂型SU-8光刻胶是UV-LIGA工艺金属微器件制作中最常用的一种负胶,它对紫外光十分敏感,并具有良好的机械及耐化学腐蚀等性能......
